氦质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展，氦质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。热管检漏客户案例：某电子股份公司，是世界IT产业500强之一，分公司及营业处遍及美国、日本、欧洲、苏格兰、新加坡等地，全球员工近90000人。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新氦质谱检漏仪的性能特点发现，氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展，这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求，也极大的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

氦质谱检漏仪在消防器材检漏应用三

检漏形式说明

使用氦质谱检漏仪 吸枪的模式检测消防钢瓶是业界较新所采用的广泛的检测方法，将消防钢瓶冲入一定量的氦气，使得钢瓶内外有压力差，如果有泄露，气体就会从钢瓶内部漏出，使用氦质谱检漏仪 吸枪在钢瓶焊接处还有阀门处慢慢游走，吸枪吸到有氦气的话就会产生报警，工件被确认有漏，从而达到测量效果。氦质谱检漏仪主要特点：前级泵配备抽速高达15m3/h旋片泵，对氦气抽速可达2。

四、消防器材检漏应用

氦质谱检漏仪 在现代工业生产中广泛应用，代表了先进的科技水准，以及人们对产品品质的要求的提高，比如消防器材的检漏，早在国内采用的是浸水法，将灭火器放在水中，如果没有气泡冒出，就认为是合格的，此种方法完全靠人的观察，并且当遇到微小泄露时，根本无法察觉，很可能在以后的使用中遇到问题，甚至可能危及生命，使用氦质谱检漏仪 则大大降低了泄露风险，即使对微小的泄露也会侦测到，并且加快了生产效率。今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的操作方法，希望对大家有所帮助。

测试方法，使用氦质谱检漏仪的正压法，先将灭火器内冲入氦气，然后放在密闭腔体内，腔体与氦质谱检漏仪 相连，工作时先将腔体内抽真空，到达一定的真空度后开始检漏，测试漏率在10-5 mbar.l/s，下视为合格（实际测试在 24 小时泄露 2 ml.约为10-5 mbar.l/s)。按照收集氦气方式的不同，又可以将正压法分为正压吸枪法和正压累积法。

今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的形式说明，希望对您有所帮助！

氦质谱检测仪的标准器选择

北京科仪创新真空技术有限公司专业生产氦质谱检漏仪，今天科仪创新的小编就大家来分享一下氦质谱检漏仪的标准器的选择，希望对大家有所帮助！

标准器 采 用 渗 氦 型 标 准 漏 孔，漏 率 标 称 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) Pa·m3 /s，不确定度不大于 10% 。

精密玻璃温度计，测量范围(0 ～ 50) ℃ ，不确定度 U = 0. 04℃ ，k = 2。